技術參數zui大行程:25mm濾波器:高斯(Gaussian)濾波器（ISO11562:1996）Rc濾波器截止波長:0.25

• 技術參數

• zui大行程: 25mm

• 濾波器: 高斯(Gaussian)濾波器（ISO11562:1996）Rc濾波器

• 截止波長: 0.25，0.8，2.5

• 測量重復性: 4%

• 技術參數

  相對示值誤差: ±7%

  測量長度: λc ╳3、4、5、6、7

  測量范圍: 640μm

  分辨率 ： 0.001μm

  測量速度： 0.1mm/s，0.32mm/s，0.5mm/s

  返回速度： 1mm/s（自動）

  測量方式：傳感器移動式

  測量功能

  Ra、Rz、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、RS、RSm、RSk、Rk 、Wp、Wv