離子減薄儀*設計的實時聚焦系統(tǒng)，會根據(jù)加速電壓的不同，自動調(diào)整聚焦磁場強度，聚焦離子束。（與永磁鐵的固定磁場不同）確保在低電壓時，也具有超高的能量密度

離子減薄儀技術(shù)參數(shù)：

兩個離子源電壓100eV~6.0KV連續(xù)可調(diào)
 

束流密度高至10 mA/cm²，連續(xù)可調(diào)
 

減薄入射角-10^o ~+ 10^o
 

樣品臺旋轉(zhuǎn)0^o ~ 360^o
 

渦輪分子泵
 

無油隔膜泵
 

真空測定用皮拉尼真空計
 

*設計的實時聚焦系統(tǒng)，會根據(jù)加速電壓的不同，自動調(diào)整聚焦磁場強度，聚焦離子束。（與永磁鐵的固定磁場不同）確保在低電壓時，也具有超高的能量密度
 

的樣品夾技術(shù)，可以確保在零角度時的減薄時也沒有污染。