橢偏儀測膜厚的優點?1.測量對象廣泛：可測透明膜，多層膜和其他性能不同厚度不同的膜。?2.被測量的薄膜尺寸可以很小。?3.測量速度快。（7-13s檢測時間）?4.光學測量方法對樣品表面損傷zui小。?5.測量精度高，海洋光學橢偏儀可以達到0.1nm的精度，而國內同類型產品只能達到1nm精度.?6.非苛刻性測量，樣品可是塊狀固體或薄膜
海洋光學SpecEl 橢偏儀的基本原理：測量光在反射或者穿透待測樣品時其偏振性質的改變。而偏振性質的改變主要是由樣品的性質，如厚度d、折射率n或消光系數k決定。
•偏振態的改變主要表現為振幅tan（Psi）和相位cos（Delta）的變化，而相位的變化會導致干涉條紋的產生，橢偏儀就是根據干涉光譜的分析來得出n,k,d.
•橢偏儀優勢：非破壞性、非苛刻性、高精度和高靈敏度
海洋光學SpecEl 橢偏儀
集成的精確測量系統SpecEl由一個集成的光源，一個光譜儀及兩個成70°的偏光器構成，并配有一個32位操作系統的PC.該橢偏儀可測量0.1nm-5um厚的單膜，并且折射率測量可達0.005%。 SpecEl軟件及Recipe配置文件通過SpecEI軟件，你可以配置及存貯實驗設計方法實現一鍵分析，所有的配置會被存入recipe文件中。創建recipe后，你可以選擇不同的recipe來執行你的實驗。
配置說明
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