ICP光譜儀，電感耦合等離子體發射光譜儀，作為一種大型精密無機分析儀器,可測定各種物質中從微量到常量的七十多種元素,可對72種金屬元素和部分非金屬元素(如B,P,Si,Se,Te)進行分析.廣泛應用于稀土分析、貴金屬分析、合金材料、電子產品、醫藥衛生、冶金、地質、石油、化工、商檢、環保等部門和釹鐵硼、硅、硅鐵、鎢、鉬等領域需要檢測元素的定量分析及各種高純材料的雜質成份分析.

ICP稀土元素分析光譜儀單道掃描等離子直讀光譜儀的核心部分是高分辯率Czerny Turner單色儀光學系統。它配有3600刻線/mm的全息光柵，窄的入射狹縫及出射狹縫, 具有很高的分辯率和極低的雜散光，保證了系統在分析復雜基體樣品時，受光譜疊加的影響減到zui小。采用直接驅動裝置傳動光柵，保證了極快的分析速度和好的重現性。稀土元素分析儀，采用40.68MHZ RF發生器以保證高的信號背景比（S/B）和很低的檢出限。采用新技術設計了優良的檢測系統，保證了分析質量的可靠。以上這些特點使DGS-Ⅲ 在等離子體發射光譜分析中具有非常好的檢出限和任意選擇分析元素的靈活性。從而可分析各種物資材料的樣品成分, 特別在各種高純材料及高純稀土的雜質成分分析方面更具有優勢。該儀器在分析指標、穩定性、分析速度、軟件等各方面的技術指標均達到*水平。

1 光學系統
1.1單色儀
DGS-Ⅲ采用焦矩為1米的Czerny Turner單色儀，光柵為高光強、高分辯率、雜散光極低的全息光柵，單色儀的設計使其對溫度和壓力的變化都具有*的穩定性，因此這種光學系統具有優異的分析性能。
1.2光柵
使用110mmX80mm大面積的3600刻線/mm的全息光柵，使單色儀的入射光為可利用的較大視角的平行光，提高了光通量，因此提高了穩定性和信號強度。光柵在高分辯率的條件下也可采集到足夠的光，短的測量時間即可滿足需要，從而減少了所需測量的樣品量。由于雜散光極低，顯著提高了S/B，改善了檢出限。
1.3分辯率
光譜儀的分辯率決定了儀器分辯復雜譜線的能力。高分辨率減少了建立分析方法所需的時間，有較好的檢出限和較高的準確度。DGS-Ⅲ 的實際分辯率為：Fe(310.030)<0.007nm。采用3600刻線/mm光柵的光譜范圍為190nm—520nm，可以適用于大部分的光譜分析元素。
1.4光柵直接驅動
稀土元素分析儀，DGS-Ⅲ型光譜儀采用直接驅動光柵的機械傳動方式，計算機控制下的自動波長參比保證波長的機械準確度總是優于0.003nm。由于*的重現性,掃描速度很快,全譜范圍掃描小于8秒.光柵轉動的高速度使得儀器在1分鐘內可以分析15個元素,這意味著節省氬氣和樣品,分析速度快, 穩定性較高。

2. 激發光源及進樣系統
2.1激發光源
DGS-Ⅲ的激發光源為電子管震蕩電路，具有功率自動調節和相位自動匹配功能,其功率輸出從600W-1200W連續可調,等離子的微小波動可以由自動調節系統補償. 40.68MHZ的等離子發生器符合國家無線電對工業頻率的要求，它安裝在單道掃描儀機箱內部, 構成一整體。
2.2進樣系統
進樣系統采用目前上*的漩流霧室系統，他具有穩定性好，清洗速度快等優點。使分析速度更快，數據更準確。該儀器測量的重復性（短期穩定性）RSD<1.5%，二小時以上的*穩定性RSD<2%。

3．電子檢測系統和計算機
DGS-Ⅲ和計算機之間的接口是一個智能微處理系統。它負責和計算機之間的數據通訊、采集數據、控制單色儀驅動系統的精確運動，及提供光電倍增管一組高精度負高壓穩壓電源。
3.1電子檢測系統
? 線性動態范圍zui高可達1×108,足以滿足ICP工作曲線校正的需要;
? zui小分辯率為2.5×10-10;
? PMT電流測量范圍為：10-12-10-4安培;
? 高品質的電子系統有助降低儀器的分析檢出限和提高精密度。
3.2計算機軟件功能
計算機為通用型，在WINDOWS操作系統下運行，計算機除執行儀器的控制外，其軟件提供下列日常分析功能：
? 計算機控制掃描；
? 完整的圖形軟件包和繪圖功能；
? 自動背景扣除和背景校正；
? 單一及復雜的元素間干擾校正；
? zui高二次多項式的回歸計算；
? 數據處理。

ICP稀土元素檢測光譜儀應用領域

稀土行業：分辨率高、檢出限低。
硅工業：磁性材料加工工業。
冶金工業：可分析對金屬材料質量的影響很大AS、Bi、Pb、Sb、Sn等雜質元素。
水質、土壤環保分析：可檢測水質、土壤污染的八大重金屬等元素。
地質、礦石分析：巖石樣品中鈣、鎂、鈉、鐵、銅、錳、鋅、鈷、鎳、金、銀等元素的測定。
石油化工和輕工領域的應用。測試原油中的30多種元素，主要有Fe、Na、Mg、Ni、V、Ca、Pb、Mo、Mn、Cr、Co、Ba、As等。
醫療、衛生、農業、環保、商品、食品質量檢測。