NANOVEA非接觸式三維表面形貌儀
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- 公司名稱 上海艾堯科學(xué)儀器有限公司
- 品牌
- 型號
- 所在地
- 廠商性質(zhì) 其他
- 更新時間 2020/10/29 15:57:31
- 訪問次數(shù) 375
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NANOVEA ST400非接觸式三維形貌儀
產(chǎn)品簡介
ST400型三維表面輪廓儀是一款多功能的三維形貌儀,采用的白光共聚焦技術(shù),可實現(xiàn)對材料表面從納米到毫米量級的粗糙度測試,具有測量精度高,速度快,重復(fù)性好的優(yōu)點,該儀器可用于測量大尺寸樣品,并具有多種選項,包含360°旋轉(zhuǎn)工作臺,原子力顯微鏡模塊,光學(xué)顯微鏡,特征區(qū)域定位等多種功能模塊。
產(chǎn)品原理:采用白光共聚焦色差技術(shù),可獲得納米級的分辨率
- 利用白光點光源,光線經(jīng)過透鏡后產(chǎn)生色差,不同波長的光分開后入射到被測樣品上。
- 位于白光光源的對稱位置上的超靈敏探測器系統(tǒng)用來接收經(jīng)被測點漫反射后的光。
- 根據(jù)準共聚焦原理,探測器系統(tǒng)只能接收到被測物體上單點反射回來的特定波長的光,從而得到這個點距離透鏡的垂直距離。
- 再通過點掃描的方式可得到一條線上的坐標,即X-Z坐標
- 后以S路徑獲得物體每個點的三維X-Y-Z坐標
- 后將采集的三維坐標數(shù)據(jù)交給專業(yè)的三維處理軟件進行各種表面參數(shù)的分析。
- 軟件能夠自動獲取用戶關(guān)心的表面形貌參數(shù)。
產(chǎn)品特性:
- 采用白光共聚焦色差技術(shù),可獲得納米級的分辨率
- 測量具有非破壞性,測量速度快,精確度高
- 測量范圍廣,可測透明、金屬材料,半透明、高漫反射,低反射率、拋 光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、 光學(xué)材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒…);
- 尤其適合測量高坡度高曲折度的材料表面
- 不受環(huán)境光的影響
- 測量簡單,樣品無需特殊處理
- Z方向測量范圍大:為27mm
主要功能:
- 可創(chuàng)建任意區(qū)域的2D曲線圖或2D等高線分布圖;
- 可創(chuàng)建任意區(qū)域的3D圖像;
- 自動得到樣品的一維線粗糙度參數(shù)(Ra,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,Rq,Rsk,Rku);
- 自動得到樣品的二維面粗糙度(Sa,Sp,Sq,Sv,Sz,Ssk,Sku);
- 可得到樣品的平整度,波紋度等參數(shù);
- 自動校準功能,例如粗糙度,一般情況下對于曲面樣品,首先展平,然后自動給出粗糙度的參數(shù);
- 具有尺寸測量:長度,寬度,角度,深度,臺階高度;
- 可測孔洞磨損面積,磨損體積等參數(shù);
- 具有功率譜密度測試功能;
- 具有分形統(tǒng)計功能;
......
主要技術(shù)參數(shù):
- XY全自動大掃描范圍:150×150(mm)
- XY掃描步長:0.1μm
- 大掃描速度:20mm/s
- Z方向大測量范圍:27mm
- Z方向測量分辨率:2nm
產(chǎn)品應(yīng)用:
MEMS、半導(dǎo)體材料、太陽能、摩擦磨損、汽車、腐蝕、砂紙、巖石等。
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