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NANOVEA非接觸式三維表面形貌儀

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NANOVEA ST400非接觸式三維形貌儀

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  • 產(chǎn)品簡介
    ST400型三維表面輪廓儀是一款多功能的三維形貌儀,采用的白光共聚焦技術(shù),可實現(xiàn)對材料表面從納米到毫米量級的粗糙度測試,具有測量精度高,速度快,重復(fù)性好的優(yōu)點,該儀器可用于測量大尺寸樣品,并具有多種選項,包含360°旋轉(zhuǎn)工作臺,原子力顯微鏡模塊,光學(xué)顯微鏡,特征區(qū)域定位等多種功能模塊。

  • 產(chǎn)品原理:采用白光共聚焦色差技術(shù),可獲得納米級的分辨率

                                                              

      - 利用白光點光源,光線經(jīng)過透鏡后產(chǎn)生色差,不同波長的光分開后入射到被測樣品上。

        - 位于白光光源的對稱位置上的超靈敏探測器系統(tǒng)用來接收經(jīng)被測點漫反射后的光。

        - 根據(jù)準共聚焦原理,探測器系統(tǒng)只能接收到被測物體上單點反射回來的特定波長的光,從而得到這個點距離透鏡的垂直距離。

        - 再通過點掃描的方式可得到一條線上的坐標,即X-Z坐標

         - 后以S路徑獲得物體每個點的三維X-Y-Z坐標

         - 后將采集的三維坐標數(shù)據(jù)交給專業(yè)的三維處理軟件進行各種表面參數(shù)的分析。 

         - 軟件能夠自動獲取用戶關(guān)心的表面形貌參數(shù)。

  • 產(chǎn)品特性:

       - 采用白光共聚焦色差技術(shù),可獲得納米級的分辨率
       - 測量具有非破壞性,測量速度快,精確度高
       - 測量范圍廣,可測透明、金屬材料,半透明、高漫反射,低反射率、拋 光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、     光學(xué)材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒…);
       - 尤其適合測量高坡度高曲折度的材料表面
       - 不受環(huán)境光的影響
      - 測量簡單,樣品無需特殊處理
      - Z方向測量范圍大:為27mm

  • 主要功能:

        - 可創(chuàng)建任意區(qū)域的2D曲線圖或2D等高線分布圖;

     可創(chuàng)建任意區(qū)域的3D圖像;

  自動得到樣品的一維線粗糙度參數(shù)(Ra,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,Rq,Rsk,Rku);

 - 自動得到樣品的二維面粗糙度(Sa,Sp,Sq,Sv,Sz,Ssk,Sku);

 - 可得到樣品的平整度,波紋度等參數(shù);

 - 自動校準功能,例如粗糙度,一般情況下對于曲面樣品,首先展平,然后自動給出粗糙度的參數(shù);

 - 具有尺寸測量:長度,寬度,角度,深度,臺階高度;

- 可測孔洞磨損面積,磨損體積等參數(shù);

- 具有功率譜密度測試功能;

      - 具有分形統(tǒng)計功能;

   ......  

  • 主要技術(shù)參數(shù):
    - XY全自動大掃描范圍:150×150(mm)
    - XY掃描步長:0.1μm
    - 大掃描速度:20mm/s

       - Z方向大測量范圍:27mm
       - Z方向測量分辨率:2nm 
 

  • 產(chǎn)品應(yīng)用:

     MEMS、半導(dǎo)體材料、太陽能、摩擦磨損、汽車、腐蝕、砂紙、巖石等。


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