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WaveMaster®PRO 2 量產型波前測量儀

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WaveMaster®PRO系列產品是為了適應波前質量的大批量檢測的需求而研發的兩款儀器,可自行設置合格標準,并根據該標準自動判定合格和不合格

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WaveMaster® PRO系列產品是為了適應波前質量的大批量檢測的需求而研發的兩款儀器,可自行設置合格標準,并根據該標準自動判定合格和不合格。WaveMaster® PRO 2和WaveMaster® PRO 2 reflex配備托盤系統,實現對單個小鏡片的大批量檢測。WaveMaster® PRO Wafer則可以對晶圓級鏡頭的波前進行快速檢測。

應用范圍:

  • 生產線上的大批量鏡頭波前和表面面形的檢測

  • 晶圓級鏡頭的波前檢測



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