USPM-RUIII反射儀可精確測量當前分光儀無法測量的微小、超薄樣本的光譜反射率,不會與樣本背面的反射光產生干涉
USPM-RU III反射儀可精確測量當前分光儀無法測量的微小、超薄樣本的光譜反射率,不會與樣本背面的反射光產生干涉。 是測量曲面反射率、鍍膜評價、微小部品的反射率測定系統。
消除背面反射光
采用特殊光學系統,消除背面反射光。
不必進行背面的防反射處理,可正確測定表面的反射率。
可測定微小區域的反射率
用物鏡對焦于樣本表面的微小光斑(?60 μm),可以測定鏡片曲面及鍍膜層是否均勻。
測定時間短
由于使用了Flat Field Grating(平面光柵)和線傳感器的高速分光測光機構,可以進行快速、再現性很高的測定。
支持XY色度圖、L*a*b*測定
可以依據分光測色法,通過分光反射率測定物體顏色。
可以測定高強度鍍膜的膜厚
采用干涉光分光法,可以在不接觸、無損的情況下測定被檢物的膜厚(單層膜)。
測定波長 | 380 nm~780 nm |
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測定方法 | 與參照樣本的比較測定 |
被檢物N.A. | 0.12(使用10×物鏡時) 0.24(使用20×物鏡時) * 與物鏡的N.A.不同。 |
被檢物W.D. | 10.1 mm(使用10×物鏡時) 3.1 mm(使用20×物鏡時) |
被檢物的曲率半徑 | -1R ~-∞、+1R~∞ |
被檢物的測定范圍 | 約?60 μm(使用10×物鏡時) 約?30 μm(使用20×物鏡時) |
測定再現性(2σ) | ±0.1%(380 nm~410 nm測定時) ±0.01%(410 nm~700 nm測定時) |
顯示分辨率 | 1 nm |
測定時間 | 數秒~十幾秒(因取樣時間而異) |
光源規格 | 鹵素燈 12 V 100 W |
載物臺Z方向驅動范圍 | 85mm |
PC接口 | USB方式 |
裝置重量 | 機身:約20 kg(PC、打印機除外) 光源用電源:約3 kg 控制器盒:約8 kg |
裝置尺寸 | 機身: 300(W)×550(D)×570(H) mm 光源用電源: 150(W)×250(D)×140(H) mm 控制器盒: 220(W)×250(D)×140(H) mm |
電源規格 | 光源用電源: 100 V(2.8 A)/220 V AC 控制器盒: 100V(0.2A)/220V AC |
使用環境 | 水平且無振動的地方 溫度: 23±5 °C 濕度: 60%以下、無結露 |
* 本裝置不保證溯源體系中的精度。
* 可以特別訂做測定波長440 nm~840 nm規格。
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