總體規格特點:

  l 重量:  80kg @6inch臺體，100kg @8inch臺體，120kg @12inch臺體

  l 尺寸:  580mm寬x520mm深x700mm高 @6inch臺體，

760mm寬x670mm深x750mm高 @8inch臺體，

930mm寬x900mm深x800mm高 @12inch臺體

  l 優化的人體工學設計，便于工程師長時間舒適的操作。

針座臺面規格:

  l U型固定臺面，拋光不銹鋼+防腐氧化材質，平整度：±3μm

l 平臺臺面快速線性升降，升降行程有0mm/0.3mm/3mm三檔扣調節，在探針點測時可以快速抬針，方便對待測點的重選擇

l 平臺臺面微調線性升降，微調升降行程20mm，精度1μm。在探針臺加裝探針卡點測時方便對待測點的復位，或者點測相同排列的待測點時，實現多根探針或光纖的高效重復測量。

載臺規格：（即chuck）

  l 6英寸/8英寸/12英寸載臺，平整度：±3μm，采用真空吸附方式吸附樣品，小吸附尺寸為

0.5mmx0.5mm，吸附尺寸6x6英寸/8x8英寸/12x12英寸英寸

l 載臺X-Y移動平臺，行程6x6英寸/8x8英寸/12x12英寸，保證待測樣品的每一點都能夠點測到，同時配備微調旋鈕，微調精度為1μm，無回差線性調節

l 載臺X-Y移動平臺可升級氣浮快速移動，移動范圍不小于6x6英寸/8x8英寸/12x12英寸，方便快速定位測試點

l 載臺Y方向快速抽進抽出，行程2英寸，方便快遞取放樣品  

l 載臺水平θ角度調節范圍0°～360°，并微調±10°，微調精度0.01°

l 載臺電學獨立懸空，可接地或加載背柵電壓。

顯微鏡操控規格:

l 顯微鏡后側有X-Y軸調節小搖輪，可調節顯微鏡在X-Y方向的移動，移動范圍50mmX50mm，精度1μm

l 顯微鏡Z軸帶有調焦粗旋鈕和細旋鈕，粗旋鈕方便快速調焦,細旋鈕方便調焦，使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm，移動精度1μm

l 顯微鏡快速傾仰±30°功能，方便快速切換多組長焦物鏡，避免鏡頭切換時撞針

l 顯微鏡可升級Z軸方向氣動快速升降功能，方便切換多組長焦物鏡和快速重復聚焦。