產品簡介：橢偏在線監測裝備針對LCD、OLED等新型平板顯示量光學薄膜質量控制需要，專門設計的在線薄膜測量系統。可適用于空氣、N2、真空等環境條件，自動實現玻璃基板上各種膜系結構厚度分布、光學常數分布的全片快速掃描測量。橢偏在線監測裝備廣泛應用于工業中新型光電器件行業所涉及的PI配向膜、光刻膠薄膜、ITO薄膜、有機發光薄膜、有機/無機封裝薄膜大基片各種膜系結構厚度分布、光學常數分布的在線式全片快速掃描測量。
產品型號 | PMS 橢偏在線監測裝備 | |||
主要特點 | 1、支持產線大基片自定義多點掃描測量并輸出報告 2、支持大193-2500nm全波段分析測量 3、支持多橢偏方案，多組合集成 4、支持測頭模塊以及樣件機臺定制化 | |||
技術參數 | 測頭規格 | 穆勒矩陣橢偏測頭 | 光譜橢偏測頭 | 反射膜厚測頭 |
自動化程度 | 可變/固定角+ mapping | 可變/固定角+ mapping | 垂直角+ mapping | |
應用定位 | 高階高精度型 | 高精度型 | 通用型 | |
單次測量時間 | 0.5-5s | 小于1s | ||
分析光譜 | 380-1000m(支持擴展至193-2500nm) | 380-1100nm | ||
Mapping行程 | 支持行程定制化 | |||
支持樣件尺寸 | 安需定制化 | |||
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