以色列 Camtek 自動光學檢測系統 |
Camtek專業于設計、研發、生產以及主導高科技且符合成本效益的自動光學檢測設備(AOI)和相關軟體產品,以提高及加快生產過程和產能。Camtek致力于為電子封裝的各個領域提供產品,擁有的影像處理科技Camtek能針對各方不同需要,提供量身定做的解決方案,已在34個國家銷售超過3500套檢測系統。 |
Condor 100 系列 用于HVM at End-of-Line的晶圓表面檢測
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Condor 900系列 第五代高產量檢查及計量系統
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專為高產量需求、檢測和測量、解決要求的半導體市場應用和快速發展3D-IC市場的理想選擇。 |
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2D機型Falcon 500系列
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• 晶圓樣品尺寸4"-12" • 檢測能力: 表面缺陷,probe mark,形體尺寸和位置測量,切割相關損害,玻 璃、MEMS結構檢測等 • 2D小檢測缺陷精度可達0.3um • 自動進行缺陷分級和分類 • TSV深度和Probe mark剖面圖 • 高效的在線和離線檢查,包括篩選、分類和自動化智能圖像采集 |
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3D機型Falcon 800系列
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• 晶圓樣品尺寸4"-12" • 檢測能力 : 凸塊高度和大小分析;共面性;gold bump布局; Solder bump數量;臨界 體積; 臨界尺寸和位置偏差 • 自動進行缺陷分級和分類 • 選用亞微米高度傳感器 • 集成3D和2D測量和檢測功能 • 3D小檢測缺陷精度可達0.5um • 一片12"晶圓3D全檢在3分鐘左右完成 • 全套SPC圖表和報告,支持在晶粒、晶圓和批次級別進行2D和3D Bump驗證分 析 |
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