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XBS MBE 沉積速率監(jiān)測(cè) 分子束質(zhì)譜儀

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沉積速率監(jiān)測(cè) 分子束質(zhì)譜儀采用三級(jí)濾過四極桿質(zhì)譜儀,適于分子束和多源分子束研究和MBE監(jiān)測(cè)。

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沉積速率監(jiān)測(cè) 分子束質(zhì)譜儀

應(yīng)用:
• MBE 監(jiān)測(cè)和控制
• 分子束研究
• 多束源分析
• 高性能殘余氣體研究
• 脫附 / 除氣研究/烘烤周期
• 容器、過程氣體污染物分析
沉積速率監(jiān)測(cè) 分子束質(zhì)譜儀特點(diǎn):
• 靈敏度高, 檢測(cè)范圍從100% 至5ppb,質(zhì)量數(shù)范圍至510 amu.
• 長(zhǎng)期穩(wěn)定性(24h以上,峰高變化小于±0.5%).
• 交叉離子源,束接收角同軸的橫斷面呈 +/- 35°
• 離子源控制,用于軟離子化和表觀電勢(shì)質(zhì)譜
• 靈敏度增強(qiáng)用于大質(zhì)量數(shù)的傳輸,自動(dòng)質(zhì)量數(shù)范圍列表
• 2mm 束接受孔, 也可為特殊使用者配置
• 一級(jí)過濾處增加射頻,抗污染物能力增強(qiáng)。
• 內(nèi)置UHV 兼容的水冷卻罩
• 分子束研究中,檢測(cè)極限低至30 ions / s
• 監(jiān)測(cè)生長(zhǎng)速率1? / min,或更低
• Windows™ 界面的MASsoft軟件通過RS232、RS485 或以太網(wǎng)控制


北京英格海德分析技術(shù)有限公司

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