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- 公司名稱 弗萊貝格儀器(上海)有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 所在地 上海市
- 廠商性質(zhì) 其他
- 更新時(shí)間 2024/4/26 17:18:49
- 訪問(wèn)次數(shù) 54
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桌面單點(diǎn)測(cè)量低成本的臺(tái)式少子壽命測(cè)量系統(tǒng),對(duì)不同制備階段的硅材料電學(xué)參數(shù)進(jìn)行表征
桌面單點(diǎn)測(cè)量
低成本的臺(tái)式少子壽命測(cè)量系統(tǒng),對(duì)不同制備階段的硅材料電學(xué)參數(shù)進(jìn)行表征。樣品 | 不同工藝處理樣品,如鈍化或擴(kuò)散后的單晶或多晶硅晶圓、晶錠、電池等 |
樣品尺寸 | 50 x 50 mm² 到12“ 或210 x 210 mm² |
電阻率 | 0.2 - 10³ Ohm cm |
材質(zhì) | 硅晶圓,晶錠,部分或全部加工晶圓,化合物半導(dǎo)體和其它類型 |
少子壽命檢測(cè)范圍 | 20ns到幾十ms |
尺寸 | 360 x 360 x 520 mm,質(zhì)量:16 kg |
電源 | 110/220 V, 50/60 Hz, 3 A |
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