MDPmap 晶圓片壽命檢測儀

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具體成交價以合同協(xié)議為準

公司名稱 弗萊貝格儀器（上海）有限公司
品牌
型號
所在地 上海市
廠商性質(zhì) 其他
更新時間 2024/4/26 17:24:03
訪問次數(shù) 60

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促銷詳細：

2020年01月08日至 2020年02月08日

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模內(nèi)澆口分離自動化，降低對人的依賴度；傳統(tǒng)的塑膠模具開模后產(chǎn)品與澆口相連，需二道工序進行人工剪切分離，模內(nèi)熱切模具將澆口分離提前至開模前，消除后續(xù)工序，有利于生產(chǎn)自動化，降低對人的依賴。

產(chǎn)品簡介

我也要發(fā)布產(chǎn)品信息

特性靈敏度：對外延工藝監(jiān)控和不可見缺陷檢測

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特性

靈敏度：對外延工藝監(jiān)控和不可見缺陷檢測，具有可視化測試的分辨率
測量速度：6英寸硅晶圓片，1mm分辨率，小于5分鐘
壽命測試范圍: 20納秒到幾十毫秒
沾污檢測：源自坩堝和生長設備的金屬(Fe)污染
測量能力：從初始切割的晶圓片到所有工藝加工的樣品
靈活性：允許外部激光通過觸發(fā)器，與探測模塊耦合
可靠性：模塊化和緊湊臺式儀器，更高可靠性，正常運行時間> 99%
重現(xiàn)性： > 99.5%
電阻率：無需時常校準的電阻率面掃描

用于研發(fā)或生產(chǎn)監(jiān)控的靈活檢測工具

MDPmap是一個緊湊的離線臺式檢測設備，對生產(chǎn)控制或研發(fā)進行無接觸電學參數(shù)特性檢測。可測量參數(shù)如載流子壽命、光電導性、電阻率、缺陷信息在穩(wěn)態(tài)或注入范圍寬短脈沖勵磁(μ-PCD)。自動化的樣品識別和參數(shù)設置可以方便地適應各種不同的樣品，包括在不同的制備階段，從生長的晶圓片到高達95%的金屬化晶圓片的外延片和晶圓片。
MDPmap主要優(yōu)點是其高度的靈活性，它允許集成最多4個激光器，用于從超低注入到高注入，對依賴于注入水平的少子壽命參數(shù)測量，或者使用不同的激光波長提取深度信息。包括偏置光設置以及μ-PCD或穩(wěn)態(tài)注入條件選項。可以使用不同的圖譜進行客戶定義的計算，也可以導出原始數(shù)據(jù)進一步評估。對于標準計量任務，可用一個預定義的標準，使常規(guī)測量只需按一個按鈕。