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簡介：美國KRI霍爾離子源eH系列緊湊設(shè)計，高電流低能量寬束型離子源，提供原子等級的細(xì)微加工能力，霍爾離子源eH可以有效地以納米精度來處理薄膜及表面，多種型號滿足科研及工業(yè)、半導(dǎo)體應(yīng)用。

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簡介：FIG05離子源不但具有zui小150微米束斑和zui高5keV能量，可以用于深度剖析和ISS。而且FIG05還可以提供*束流的能量小于10eV的低能離子，適用于需要正離子的雙束電荷中和。

簡介：SE5離子源是一款設(shè)計緊湊、使用靈活的冷陰極離子源，zui大束流超過45微安，能量范圍從300eV直到5keV。對于低能離子具有*的束流，使ISE5適于敏感材料的轟擊清潔。